Ressourcenoptimierte Elektronikproduktion

Im Rahmen des »Green Deal« hat sich die EU ehrgeizige Ziele zur Verringerung ihrer Treibhausgasemissionen und zu einem umfassenden Klima- und Umweltschutz gesetzt. Dieser Rahmen soll die Wirtschaft und das Energiesystem wettbewerbsfähiger, sicherer und nachhaltiger machen. Als ein Schlüsselsektor der Wirtschaft betrifft dies auch die Mikroelektronikproduktion auf dem Weg hin zu einer »Grünen Elektronik-Produktion« in Europa. Einen Beitrag dazu liefert der Green-ICT-Hub Ressourcenoptimierte Elektronik-Produktion mit 9 Standorten der FMD und deren ausgewiesenen Technologieinnovationen. Der Hub bietet ein breites Technologiespektrum mit umfassenden Angeboten sowohl für die halbleiter- und leiterplattenbasierte Elektronikproduktion als auch für Anlagenausrüster sowie Materialien- und Chemikalienhersteller.

Videopräsentation des Hubs:

Infoposter

Besonders umweltrelevant sind die energie- und ressourcenintensive Halbleiterfertigung. Diese beinhaltet die Herstellung der Rohwafer, die eigentliche IC-Fertigung sowie die nachgelagerte Aufbau- und Verbindungstechnik auf Wafer- und Panel Level. Umweltrelevant sind hierbei auch alle Aspekte der Qualitätssicherung, da die bestmögliche Ausbeute erzielt werden muss, um den Carbon Footprint niedrig zu halten. Neben der Halbleiterindustrie werden aufgrund immer höher integrierter Baugruppen und steigenden Anforderungen an Zuverlässigkeit und Langlebigkeit in Zukunft auch die Leiterplatten- bzw. Substratindustrie einschließlich Komponenten und Bestückung umweltseitig an Bedeutung gewinnen. Mehr und mehr Prozesse erfordern energieintensive Reinraumumgebungen und hochwertige Materialien. Auch die Prozessausbeute und die Reparatur- und Recyclingfähigkeit sind grüne Themen mit immer höherer Bedeutung für die Elektronikfertigung.

Arbeitspakete

1) Hub-Koordination
  • Hub-Koordination nach Innen und Außen (Hub-Projektleitung)
  • Schnittstelle mit der FMD
2) Prozessierung
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  • FEOL Nassprozesse
  • FEOL Lithographie
  • FEOL Thermische Prozessierung
  • WLP
  • Validierungsprojekte​
3) Reinraum und Infrastruktur
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  • Energieeffiziente Reinraumumgebung
  • Verringerung schädlicher Abgasemissionen
  • Validierungsprojekte​
4) Energiemanagement in Fertigungslinien
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  • Sensorsystem / Energiemessung an Prozessanlagen
  • Bewertung und Optimierung der Einzelprozesse in Bezug auf Energieverbrauch
  • Validierungsprojekt​
5) Aufbau- und Verbindungstechnik
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  • Green Packaging
  • Green Repair
  • Validierungsprojekte
6) Materialienersatz
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  • Substratmaterialersatz für III/V-Halbleiter
  • Chemikaliensubstitution
  • Gas-Chemikalien Ersatz
  • WLP-Materialien
  • Gesetzes- und Kritikalitätsupdates
  • Validierungsprojekte
7) Plattform Ressourcenquantifizierung für IKT-Produktion
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Die Quantifizierung der Ressourcenströme der jeweiligen Produktionsverfahren sowie die Einbettung in Ökobilanzen erfolgt in einer gemeinsamen Plattform. Die beteiligten Institute wenden die Methoden intern an, und bereiten gleichzeitig Angebote nach außen vor. Die vereinfachte oder ökobilanzielle Umweltbewertung von Produktionsnetzen stellt eine eigenständige Beratung dar, wird aber gleichzeitig integraler Bestandteil der Arbeitspakete 1-6.

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