Der Nachhaltigkeitscheck für Ihre Prozesse in der Mikroelektronikfertigung

Leistungsangebote aus Hub III: Ressourcenoptimierte Elektronikproduktion

Wir untersuchen Ihre Mikroelektronikherstellung und erarbeiten Vorschläge zur Reduzierung des CO2e-Fußabdrucks. Bewerben Sie sich für ein Validierungsprojekt und lassen Sie Ihren innovativen Fertigungsprozess bis hin zum Produkt kostenfrei überprüfen!

Untersuchte Bereiche: 

  • Ressourcenoptimierte mikroelektronische Verfahren 
  • Energieeffiziente Reinraumumgebung 
  • Reduktion schädlicher Abgasemissionen 
  • Optimierung der Einzelprozesse in Bezug auf den Energie- und Materialverbrauch 
  • Nachhaltiger Aufbau und Verbindungstechnik 
  • Ersatz kritischer Materialien (CMR und/oder PFAS-Materialien) 

Fokusthemen: 

  • Betrachtung im Betrieb: Energieeinsparung in ausgewählten Prozessen 
  • Betrachtung des Ressourceneinsatzes bei der Herstellung durch Bestimmung des CO2e Footprints (soweit Informationen für die Berechnung oder Einschätzung vorhanden sind). 
  • Wir bieten an, eine Ökobilanzierung für Ihre Herstellungsverfahren durchzuführen. 
  • Das Ergebnis des Validierungsprojektes wird in Form einer Fallstudie (theoretische Betrachtung) dargestellt, die das Einsparpotential durch die Green ICT-Technologie darstellt. Die Endergebnisse werden auch veröffentlicht. Unternehmensspezifische Daten werden auf Wunsch vertraulich behandelt. 

Angebote

Aufarbeitung von Trägerwafern
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  • Reinigungsverfahren für 300mm Glaswafer zur mehrfachen Wiederverwendung von Glaswafern
  • Reduktion von Glas Wafer scrap und dadurch von CO2-Emmissionen
Neue Reinigungsmethoden in der Nasschemie
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  • EKC265 Substitution für Reinigung von TSV nach Bosch-Prozess
  • Einsatz Lösemittel bzw. -gemische, die keine Kanzerogenität aufweisen und nicht sehr schädlich für Wasserorganismen sind
FEOL Thermische Prozessierung
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  • Ersatz traditioneller Batch-Ofenprozesse durch Rapid Thermal Processing im Bereich hochqualitativer Oxide (z.B. Gate-Oxidationen) für die Fertigung komplexer Technologien
  • Bewertung Material- und Energieverbrauch für Technologiemodule mit Verwendung von Ofenoxiden
Metall-Metall Bondingprozesse
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  • Nutzung von Hybrid-Integration auf Basis des Al-Al Waferbondens im MPW-Angebot, Herstellung von Hybridtechnologien mit optimiertem Performance-Cost-Trade-Off
  • Bewertung Material- und Energieverbrauch für gesamte Technologieabläufe bzgl. Verbrauch vs. Aufwand

EKC-Ersatz für Post-Metal-EtchRemover
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  • Einführung von umweltfreundlicheren Alternativen als EKC265 für die Reinigung
  • Fluoride, Amine, Hydroxylamin und Brenzcatechin-frei, niedrige Prozesstemperatur, ohne Spülung mit Isopropanol
Optimierung von Verbräuchen CMP
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  • Prozessoptimierung mit Slurries aus weniger kritischen Quellen oder Materialien, Beratung zu Recycling-Tools, Charakterisierung an Teststrukturen
  • Ersatz Ce- durch SiO2– haltige Slurries; Reduktion des Wasserverbrauchs im Post-Prozess, Recycling und Re-Use von Slurries, Bestimmung Verbrauch und CO2-Äquivalente
Footprint-Erstellung in der Fotolithografie
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  • Erstellung der IN/OUT-Material- und Energieflüsse eines Belackers und Entwicklers in industrieller Umgebung
  • Prozessabhängige CO2-Bilanzierung und Optimierung

PECVD Clean mit Fluorgasmischung (FAN = F2/Ar/N2)
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  • Beratung bei der FAN-Gasinstallation, Erstellung und Optimierung des Plasmareinigungsrezepts
  • Vollständiger Ersatz klimaschädlicher Reinigungsgase (C2F6 und NF3) durch FAN-Gas
Integriertes Wäschersystem inkl. Analyse und Aufbereitung von Schadgasen
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  • Schädliche Gase, Untersuchung von PECVD-Reinigungs­prozessen. Verfügbare Reinigungsgase: PFCs, SF6, NF3, FAN
  • Prozesse mit möglichst geringer Waschwassermenge bzw. geringstem Propangasfluss

Energiemanagement
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  • Bilanzierung von Prozessen, die an Energiemengen gekoppelt sind, inkl. Optimierung
  • Umweltbilanzierung von spezifischen Oxiden möglich

Optimierung der Medieneinsparung von Tools in der Halbleiterproduktion
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  • Beratung zur Energieeffizienz bei Einsatz von Maschinen und Anlagen. Mit mobilen Energie-Loggern können zeitaufgelöst die elektrischen Parameter aufgezeichnet und direkt mit laufenden Prozessen korreliert werden
  • Je nach Ausgangssituation können toolabhängige Energieeinsparungen von bis zu 25 % erzielt werden. Messungen erlauben Ökobilanzierung von Einzelprozessen

Ersatz Materialien & optimierte Packagingprozesse
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  • Prozessparameter zur Herstellung von InGaAs/InAlAs/InP-Heterostrukturen auf Silizium-Substraten
  • Reduzierung des Arsen-Anteils in elektronischen Hochfrequenzschaltungen um 99,99 %

NMP Ersatz
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  • Alternative NMP Stoffe mit Vor- und Nachteilen wurden getestet. Diese Tests können erweitert werden durch umfangreiche Kenntnisse zu Charakterisierungen.
  • Prozessevaluierung ohne NMP

Bewerbungsformular

    Name und Anschrift des Unternehmens

    Webseite des Unternehmens

    Kontaktperson

    E-Mail der Kontaktperson

    Telefonnummer der Kontaktperson

    Bitte beschreiben Sie in wenigen Worten, was Ihre Lösung ausmacht.

    Welchem Themenbereich der ressourcenoptimierten Elektronikproduktion würden Sie Ihre Anfrage zuordnen? (Mehrfachnennung möglich)

    ProzessierungReinraum und InfrastrukturEnergiemanagement in FertigungslinienAufbau und VerbindungstechnikMaterialersatzGanzheitliche Bilanzierung

    Soll bei Ihrem Vorschlag unser Anlagenpark genutzt werden?

    JaNein, Umsetzung soll im eigenen Firmenumfeld stattfinden

    Können Sie bereits Einsatzfelder benennen, die Sie mit Ihrer Lösung adressieren?

    Wie sind Sie auf unser Angebot gestoßen?

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