Christina Förster

Fraunhofer IPMS – Im Projekt IFTiN wurden zwei Fluide der intelligent fluids GmbH mit zwei Referenzchemien im Dual Damascene-Prozess auf 300-mm-Wafern verglichen.
Die Reinigungsleistung, CD-Veränderungen sowie Residuen- und Resist-Entfernung wurden mittels CD-SEM, Defect Inspection und AFM bewertet; TiN-, Oxid- und Kupferstrukturen blieben unverändert, der Resist zuverlässig entfernt.
IF I/IF II erreichten Residuenentfernung vergleichbar bis besser als dHF- bzw. EKC580-Referenzen und zeigten strukturgrößenabhängige Unterschiede.
Die CO2e-LCA ergab, dass die Prozessdauer der maßgebliche Emissionstreiber ist; Entsorgung bei intelligent fluids ist deutlich vereinfacht, weitere Daten zur Entsorgung und weitere Optimierungen sind erforderlich.

Fraunhofer IISB – intEMT® ist eine modulare und flexible Software-Toolbox für intelligentes Energiemanagement, die zur Modellierung, Simulation und Optimierung komplexer Energiesysteme entwickelt wurde. Sie enthält fünf Kernbibliotheken, welche einzeln oder in Kombination verwendet werden können. So werden maßgeschneiderte Lösungen von der Modellierung auf Anlagenebene bis hin zum umfassenden intelligenten Energiemanagement ermöglicht. intEMT® ist im Rahmen verschiedener Projekte, unter anderem GreenICT, entstanden und wird vom Fraunhofer IISB zukünftig als Plattform für neue Projekte im Bereich Energiemanagement verwendet und weiterentwickelt.

Fraunhofer EMFT und Fraunhofer IZM – Beim Trockenätzen in der Halbleiterfertigung entstehen Ätzpolymere, die die Zuverlässigkeit beeinträchtigen können. Das Fraunhofer EMFT nutzt hierfür ein ökologisch nachhaltiges Reinigungsverfahren, das laut Fraunhofer IZM rund 42 % weniger CO₂-Emissionen verursacht als herkömmliche Methoden.

Fraunhofer IISB – Durch den zunehmenden Einsatz von KI ist der Strombedarf von Rechenzentren, insbesondere der von Hochleistungsrechenzentren, wieder in den Fokus öffentlicher Diskussionen gerückt. In diesem Techblog wird gezeigt, wie die innerhalb des Projekts GreenICT gewonnen Ergebnisse, zur effizienten Spannungs-versorgung von CPUs und GPUs, dazu beitragen können, den CO2-Fußabdruck von KI möglichst niedrig zu halten.

Fraunhofer ENAS – Die globalen Herausforderungen in der Landwirtschaft sind vielschichtig: Eine stetig wachsende Weltbevölkerung, klimatische Veränderungen und knapper werdende Ressourcen verlangen nach technologischen Lösungen, die Effizienz und Nachhaltigkeit gleichermaßen adressieren. Während die Digitalisierung längst Einzug in die Agrarwirtschaft gehalten…

Fraunhofer IPMS – Wir präsentieren ein TSN‑Testbed, das kabelgebundene und Li‑Fi‑Verbindungen bis 1 Gbit/s bidirektional mit präziser Energie‑ und Latenzmessung verifiziert. Drei Li‑Fi‑Systeme zeigen deterministische Latenzen (Grathus ~10 µs, Arthus III ~22 µs, 1GHS ~2 ms) und einen klaren Effizienztrend: Mit steigender Auslastung sinkt die Energie pro Bit; 1GHS ist am sparsamsten (bis ~3,6 nJ/Bit). Eine einfache LED‑Bias‑Optimierung senkt den Energiebedarf des 1GHS um bis zu 20,2 % (Frontend: 27,5 %) – ein belastbarer Benchmark für energieeffiziente, drahtlose Echtzeit in der Industrie.

Ziel des Green ICT Space Projektes „Neues Screeningtool für eine effiziente Halbleiterfertigung“(NEST) war es, potenziell mögliche ökologische Einsparungen in der Halbleiterfertigung mithilfe der Hyperspectral Vision Technologie zu quantifizieren und gleichzeitig das junge Startup bei der Einführung der neuen Messmethode in…

Beitragende: Constantin Baumann, Johannes Wieczorek, Peter Spies (IIS), David Sanchez (IZM)  Drahtlose Sensoren benötigen für ihren Betrieb elektrische Energie zur Versorgung der elektronischen Komponenten. Um eine einfache Installation und einen Einsatz an Stellen ohne kabelbasierte Stromversorgungen zu ermöglichen, wird diese…

Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik (IHP) – In diesem Tech-Blog stellen wir die Aktivitäten des IHPs im Hub 2 des Green-ICT-Projektes rund um den Aufbau eines Mess-Hubs zur Erfassung aller für die Ökobilanz relevanten Parameter von drahtlosen Kommunikationssystemen vor. Dazu gehört der Aufbau und die Automatisierung einer Antennenmesskammer, die für die Charakterisierung und Analyse von HF-Kommunikationsgeräten optimiert ist, die im mm-Wellen- und Sub-THz-Spektrum arbeiten.

Fraunhofer EMFT – Genaue Überwachung der Treibhausgase ist von entscheidender Bedeutung, um die Ziele zur Bekämpfung der verheerenden Folgen der globalen Erwärmung zu erreichen. Das Fraunhofer-Institut EMFT hat ein voll funktionsfähiges Abgasreinigungslabor etabliert, um die Emissionen der in den Halbleiterprozessen verwendeten PFAS-Gase, NF3 und SF6 zu erfassen. Gleichzeitig wurde klimafreundliches Gas (FAN-Gasmischung) eingesetzt, was das Potential des Einsatzes von Abgasreinigungssystemen ohne Brenner zeigt.