Innovative Wafer-Messanlage für eine ressourceneffizientere Halbleiterfertigung
Ziel des Green ICT Space Projektes „Neues Screeningtool für eine effiziente Halbleiterfertigung“(NEST) war es, potenziell mögliche ökologische Einsparungen in der Halbleiterfertigung mithilfe der Hyperspectral Vision Technologie zu quantifizieren und gleichzeitig das junge Startup bei der Einführung der neuen Messmethode in…