Im Rahmen des »Green Deal« hat sich die EU ehrgeizige Ziele zur Verringerung ihrer Treibhausgasemissionen und zu einem umfassenden Klima- und Umweltschutz gesetzt. Dieser Rahmen soll die Wirtschaft und das Energiesystem wettbewerbsfähiger, sicherer und ökologisch nachhaltiger machen. Als ein Schlüsselsektor der Wirtschaft betrifft dies auch die Mikroelektronikproduktion auf dem Weg hin zu einer »Grünen Elektronik-Produktion« in Europa. Einen Beitrag dazu liefert der Green-ICT-Hub Ressourcenoptimierte Elektronik-Produktion mit 9 Standorten der FMD und deren ausgewiesenen Technologieinnovationen. Der Hub bietet ein breites Technologiespektrum mit umfassenden Angeboten sowohl für die halbleiter- und leiterplattenbasierte Elektronikproduktion als auch für Anlagenausrüster sowie Materialien- und Chemikalienhersteller.
Unsere Leistungen:
- Quantifizierung von Material-, Ressourcen- und Energieverbräuchen zur Optimierung von Herstellungsprozessen in Reinräumen Analyse und Beratung zu Energieeffizienz von Maschinen und Anlagen, inklusive CO2-Bilanzierung
- Charakterisierung an Teststrukturen
- Tests alternativer Chemikalien und Prozesse (Bsp. NMP, NF3, SF6…)
Videopräsentation des Hubs:
Infoposter
Besonders umweltrelevant sind die energie- und ressourcenintensive Halbleiterfertigung. Diese beinhaltet die Herstellung der Rohwafer, die eigentliche IC-Fertigung sowie die nachgelagerte Aufbau- und Verbindungstechnik auf Wafer- und Panel Level. Umweltrelevant sind hierbei auch alle Aspekte der Qualitätssicherung, da die bestmögliche Ausbeute erzielt werden muss, um den Carbon Footprint niedrig zu halten. Neben der Halbleiterindustrie werden aufgrund immer höher integrierter Baugruppen und steigenden Anforderungen an Zuverlässigkeit und Langlebigkeit in Zukunft auch die Leiterplatten- bzw. Substratindustrie einschließlich Komponenten und Bestückung umweltseitig an Bedeutung gewinnen. Mehr und mehr Prozesse erfordern energieintensive Reinraumumgebungen und hochwertige Materialien. Auch die Prozessausbeute und die Reparatur- und Recyclingfähigkeit sind grüne Themen mit immer höherer Bedeutung für die Elektronikfertigung.
Einblicke in die ressourcenoptimierte Produktionspraxis in Reinräumen
Ein Video des Fraunhofer IPMS, Projektpartner bei Green ICT @ FMD.
Arbeitspakete des Hubs
- Hub-Koordination nach Innen und Außen (Hub-Projektleitung)
- Schnittstelle mit der FMD
-> Mehr Infos zu den Validierungsprojekten