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INCA-Plasmaquelle (Inductive Coupled Array) mit gezündetem Plasma - Fluor-Gasgemisch anstatt SF6
Prozesse in der Halbleiterfertigung nachhaltiger...
© Fraunhofer EMFT / Bernd Müller

Prozesse in der Halbleiterfertigung nachhaltiger gestalten

Published on 2. May 2023 Authors Christina

Rund 80 % des CO2-Abdrucks durchschnittlicher Elektronikbauteile entsteht bereits bei der Produktion. Ein Forschungsteam des Fraunhofer EMFT arbeitet daran, Prozesse in der Halbleiterfertigung zu optimieren, um den Einsatz klimaschädlicher Prozessgase zu minimieren. Dabei testen die Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler auch klimafreundlichere Alternativen zu bislang standardmäßig eingesetzten Ätzgase

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Tagged Boschprozess, DRIE, FAN-Gasmischung, Halbleiterfertigung, INCA, klimafreundlich, nachhaltig, Plasmaätzen, SF6

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