Green ICT @ FMD ReferenzdatenDummy Dispense
Kategorien:
- Mikroelektronik Produktion
Copyright?
Ja
Bezugsjahr:
2023
Geographischer Bezug:
Deutschland
Technologiebeschreibung:
Lithographie: Belackung mit Fotolack
In einer Anlage zum Belacken von Wafern mit Fotolack wird aus Lackflaschen über Pumpen der Lack auf den Wafer aufgebracht. Später werden die Wafer belichtet, also die Strukturen auf den Wafer übertragen. Nach dem Entwicklen bleiben nur die unbelichteten Bereiche von dem Fotolack auf dem Wafer. Der strukturierte Fotolack dient als Maske für folgende Prozesse.
Wird kein Fotolack in Prozesspausen aus den Flaschen gepumpt, dürfen die Leitungen und Düsen nicht eintrocknen. Dafür wird Fotolack in bestimmten Abständen in einen Abfallbehälter gepumpt. Dieser Verlust wurde minimiert und dabei sichergestellt, dass sich die Belackungsqualität nicht verschlechtert. Da Prozesse teilweise sehr selten genutzt werden, können die Verluste den Hauptanteil des Fotolackverbrauches ausmachen.
Fotolack ist teuer und muss extra entsorgt werden. Eine Einsparung lohnt sich finanziell und ökologisch.
Bezugsgröße:
Fotolack Liter pro Jahr. Der Verlust ist zeitabhängig und kann nicht pro Wafer angegeben werden.
Copyright:
Fraunhofer IPMS - Dieser Datensatz ist im öffentlich geförderten Projekt Green ICT @ FMD entstanden und ist zu 100% vom BMBF gefördert. mehr InformationenSystemgrenzen:
ProzessbilanzMethodische Aspekte:
Die Berechnung des Verbrauches erfolgte aus den Anlagendaten und Überprüfung an Hand des tatsächlichen Verbrauchs.
Datenqualität, -herkunft:
Die Prozessdaten wurden als Primärdaten durch die Berechnung des Verbrauchs aus Anlagedaten am Fraunhofer IPMS im Kontext einer Forschungsumgebung gewonnen.
Datenübersicht:
| Wert | Einheit | |
|---|---|---|
| Einsparung von Chemikalien | 67 | % |
| Materialverbrauch | 14 | Liter Fotolack pro Jahr |
Die prozentuale Einsparung ist über verschiedene Lacke gemittelt. | ||