FAN gas mixture

Fraunhofer EMFT – Genaue Überwachung der Treibhausgase ist von entscheidender Bedeutung, um die Ziele zur Bekämpfung der verheerenden Folgen der globalen Erwärmung zu erreichen. Das Fraunhofer-Institut EMFT hat ein voll funktionsfähiges Abgasreinigungslabor etabliert, um die Emissionen der in den Halbleiterprozessen verwendeten PFAS-Gase, NF3 und SF6 zu erfassen. Gleichzeitig wurde klimafreundliches Gas (FAN-Gasmischung) eingesetzt, was das Potential des Einsatzes von Abgasreinigungssystemen ohne Brenner zeigt.

Fraunhofer EMFT – Around 80 % of the CO2 footprint of average electronic components is already caused during production. A research team at the Fraunhofer EMFT is working on optimizing processes in semiconductor production in order to minimize the use of climate-damaging process gases. In the process, the scientists are also testing more climate-friendly alternatives to etching gases that have been used as standard to date.