Green ICT @ FMD ReferenzdatenTC-CA25 als Ersatz für EKC265 als Metal-Post-Etch Reinigung zur Waferreinigung

Technologiebeschreibung:

Am EMFT wird der Post-Etch-Reinigungsprozess als Batch-Prozess (25 Wafer) für 150 mm und 200 mm Wafer eingesetzt. Nach Reinigung der geätzten Wafer mit EKC265 bei 65°C und TC-CA25 bei 30°C sind die Polymerreste auf den Strukturen und den Seitenwänden vollständig entfernt worden.
Die traditionelle Reingung erfolgt mit EKC265 und Isopropanol. Das neue Verfahren verwendet stattdessen TC-CA25.
Prozessablauf:
– EKC265: Wafer in EKC265 (25 Liter)+ultrasonic –> Wafer in Isopropanol (25 Liter) +ultrasonic –> Wafer in Isopropanol (25 Liter)+ultrasonic –> DI-Rinse
– TC-CA25: Wafer in TC-CA25 (25 Liter)+ultrasonic –> DI-Rinse
Annahmen:
– Energieverbrauch nur für den Reinigungsvorgang berücksichtigt (Leerlaufzeit der Maschine außerhalb des Reinigungsvorgangs nicht berücksichtigt)
– Ultraschallreinigung mit Isopropanol wird mit je 45 Minuten angenommen
– Energieverbrauch wird unabhängig von der Heiztemperatur modelliert (nach Leistungsaufnahme im Datenblatt)
– Abwasserbehandlung aus der Waferherstellung wird berücksichtigt, Chemikalien werden nicht zurückgewonnen

Bezugsgröße:

25 Wafer (1 Batch zur Reinigung von 150/200 mm Wafern)

Copyright:

Systemgrenzen:

Methodische Aspekte:

Art von LCA: ALCA
Allokationsregeln: keine Allokation notwendig
LCIA Methodologie: IPCC AR6

Datenqualität, -herkunft:

Die Prozessdaten wurden am Fraunhofer EMFT im Kontext einer Forschungsumgebung gewonnen.
Die Daten beziehen sich auf Prozessdaten. Weitere Fertigungsumgebung (z.B. Raumbelüftung) wurde nicht miteinbezogen.
Hintergrunddaten wurden mit Sphera LCA for experts und ecoinvent v3.9 modelliert. Es wurde ein deutscher Energiemix für Energieverbräuche verwendet. Die genaue Materialzusammensetzung der beiden Chemikalien war nicht bekannt, so dass für beide Varianten ein Best- und Worst-Case abgeschätzt wurde.

Datenherkunft
– Vordergrund Daten: Prozessinformationen von Fraunhofer EMFT
– Hintergrund Daten: Sphera Datenbank (v2024-1), Ecoinvent v3.9 Datenbank
Datenqualität (gemäß EN15804:2012, Tabelle E1)
– Geographische Repräsentativität – gut
– Technische Repräsentativität – mittel
– Zeitliche Repräsentativität – sehr gut
Vollständigkeit
– Alle Prozessdaten sind modelliert, Infrastrukturprozesse sind nicht enthalten
Review
– Dieser Datensatz hat keine kritische Review bekommen.