Green ICT @ FMD Reference DataEnergieverbrauch einer Molybdän-Ätzung (Plasma-Ätz)
- Microelectronics production
Technologiebeschreibung:
Die Molybdän‑Ätzung erfolgt auf einer Plasma-Ätz-Anlage. Dabei wird ein SF₆‑basiertes Fluorplasma eingesetzt. Die Ätzwirkung beruht auf der Bildung flüchtiger Molybdän‑Fluoride (z. B. MoF₆), die im Plasma gebildet und effizient abgeführt werden.
Der Prozess wird dabei wesentlich durch folgende Parameter bestimmt:
– Source‑Leistung zur Einstellung der Dichte an F‑Radikalen,
– Bias‑Leistung zur Kontrolle des anisotropen Anteils und der Oberflächenaktivierung,
– Kammerdruck zur Steuerung der mittleren freien Weglängen,
– Gasfluss von SF₆ sowie die Beimischungen von O₂ zur Modifikation der Plasmachemie,
– Temperierte electrostatic chuck (ESC) zur Stabilisierung der Reaktionskinetik,
– Ätzzeit.
Bezugsgröße:
kWh pro Wafer (200mm)
Copyright:
Fraunhofer ISIT - Dieser Datensatz ist im öffentlich geförderten Projekt Green ICT @ FMD entstanden und ist zu 100% vom BMBF gefördert. mehr InformationenMethodische Aspekte:
Bei der Durchführung von zeitlichen Ätzungen wurden 23 Wafer mit einer Molybdän-Beschichtung von 200 nm verwendet (Single Wafer Process, Endpunkt).
Datenqualität, -herkunft:
Die Daten kommen aus eigenen Fraunhofer ISIT-Vorgaben und -Messungen und stammen aus einer Forschungsumgebung.
Datenübersicht:
| Wert | Einheit | |
|---|---|---|
| Energieverbrauch | 1,5 | kWh |
In der Auswertung wurde nur die Energie betrachtet. Die flüchtigen Gase (SF₆ in diesem Beispiel) werden nach dem Prozess über Gasreinigungsanlagen/Brenner behandelt. Die Ätzanlage wurde im Vorfeld energetisch optimiert. | ||