Energiemanagement
Möchten Sie durch einfache energetische Maßnahmen auch Ihre Herstellungsprozesse kostengünstiger gestalten?
Denken Sie über konkrete Ressourceneinsparungen nach, bspw. in Form von Energie- und Materialeinsparung in Ihren Prozessschritten und Produktionsanlagen durch
- Einsatz aktueller und hocheffizienter Maschinen und Peripheriegeräte
- Optimale Ausnutzung der Run-Time
- Reduktion der Standby-Zeit einzelner Produktionstools
- Reduktion von Materialien und anderen Ressourcen
Beachten Sie unser Best-Practice-Szenario des Fraunhofer ISIT für die energetische Optimierung von Herstellungsprozessen am Beispiel von Reinraumtools für die Herstellung mikroelektronischer Komponenten
Beispielszenario: 200 mm Wafer-Fab für MEMS-Bauteile
Gründe des hohen Energiebedarfs anhand eines Beispiels:
- Chemisch-mechanisches Polieren (CMP), Grinding und Sägen auf 300 m² Reinraumfläche
- Verschiedene Entwicklungs- und Messlabore auf 900 m²
- Entwicklung und Pilot-Fertigungslinie für Lithium-Polymer-Akkumulatoren
MEMS-Produktionslinie für die Entwicklung und Produktion von 200 mm Wafern auf ca. 1170 m² Reinraumfläche
Entwicklung des Stromverbrauchs der 200 mm-FAB
Stetiger Anstieg des Stromverbrauchs und damit stetige Erhöhung von Betriebskosten und CO2-Ausstoß
Kontinuierlich steigender Energieverbrauch führt zu erhöhten Mehrausgaben
->Bedarf für Maßnahmen im Bereich
Kosteneinsparungen durch Prozessoptimierung
- Energiemonitoring: Installation eines Sensorsystems / Energiemesssystems an bestehenden Prozessanlagen
- Bewertung der Einzelprozesse bzw. Prozessanlagen in Bezug auf deren Energieverbrauch
- Umsetzung von Maßnahmen (Prozessoptimierung, Optimierung Downtime vs. Idle-Mode, Erneuerung Maschinenpark bzw. von Einzelkomponenten, etc.)
| Prozessschritt | Energieeinsparung | Einsparung sonst. Medien | Kosteneinsparung Strom | CO2-Einsparung |
| [MWh/a] | in 1000 €/a | in 1000 kg/a | ||
| Austausch Vakuum-Pumpe Si-Etch Tool | 9,2 | N2 ca.11500- 23000 m³/a
Kühlwasser |
2484 | 3,7 |
| Austausch Vakuum-Pumpe Metal Etch Tool | 14,6 | N2 ca. 11500 -23000 m³/a Kühlwasser | 3950 | 5,8 |
| Gesamt | 23,8 | N2 ca. 23000-46000 m³/a | 6434 | 8,5 |
Kosteneinsparungen durch Prozessoptimierung
Stromkosteneinsparungen von bis zu 10.000 €/a durch einfache Maßnahmen realisierbar, die sich zudem zügig amortisieren und einer CO2-Einsparung von 15 Tonnen entsprechen