Das Ziel des Vorhabens besteht darin, eine umweltfreundliche, wasserbasierte Alternative zu den derzeit verwendeten erd\u00f6lbasierten umwelt- und gesundheitsgef\u00e4hrdenden L\u00f6sungsmittel-Prozessen in der Halbleiterindustrie zu evaluieren. Im Projekt sollen mehrere wesentliche Schritte unternommen werden, um die Reinraumf\u00e4higkeit, Funktion und Automatisierbarkeit der nachhaltigen, wasserbasierten Reinigungsl\u00f6sungen sicherzustellen und deren \u00f6kologisches Einsparpotenzial entlang der Prozesskette zu bewerten. Die Notwendigkeit aggressiver chemischer Zus\u00e4tze und umfangreicher Abwasseraufbereitungen soll eliminiert werden, um den gesamten Reinigungsprozess nachhaltiger und umweltfreundlicher zu gestalten.<\/p>\n\n\n\n Die intelligent fluids GmbH hat eine innovative Phasenfluid-Technologie entwickelt, um Fotolacke und deren R\u00fcckst\u00e4nde nach Strukturierungsprozessen effektiv und r\u00fcckstandslos zu entfernen. Im Green ICT Space-Projekt sollen nun Fluide, unterst\u00fctzt durch ein produktionsnahes Waferhandling-System f\u00fcr 300mm Wafer, in den Reinraum eingebracht und an industrie-relevanten Strukturen erprobt werden.<\/p>\n\n\n\n Dazu wird die intelligent fluids GmbH die optimalen Formulierungen ausw\u00e4hlen und Materialkompatibilit\u00e4tsuntersuchungen sowie Fluidcharakterisierungen unterst\u00fctzen. Zudem wird der CO2<\/sub>-Fu\u00dfabdruck der ausgew\u00e4hlten Reinigungsformulierung spezifiziert. Das Fraunhofer IPMS CNT stellt 300mm-Testsubstrate, technischen Support im Reinraum und ein Nasschemie-Tool auf Industriestandard bereit. Gemeinsam werden die Partner Daten zur Prozessperformance und zum CO2<\/sub>-Fu\u00dfabdruck sammeln, vergleichen und die Ergebnisse publizieren. Ziel ist ein Vergleich der Fluide zu herk\u00f6mmlichen Reinigungsprozessen und die Technologie f\u00fcr den Einsatz in Halbleiterfabriken zu evaluieren.<\/p>\n\n\n\n Die \u00f6kologischen Einsparpotenziale des Projekts sind vielversprechend und vielf\u00e4ltig. Durch den Ersatz erd\u00f6lbasierter L\u00f6sungsmittel durch wasserbasierte Formulierungen k\u00f6nnen erhebliche Reduktionen im CO2<\/sub>-Aussto\u00df und Energieverbrauch erwartet werden. Ein wesentlicher Hebel zur Optimierung der \u00d6kobilanz liegt in der Erh\u00f6hung des Wassergehalts der Fluide, der in vergangenen Experimenten bereits erheblich gesteigert werden konnte. Zudem k\u00f6nnen durch die Identifikation optimaler Tensid-Systeme und den Einsatz nachwachsender Rohstoffe weitere \u00f6kologische Vorteile erzielt werden. Der Tensid-Gehalt soll minimal gehalten werden, und auch die \u00d6lkomponente kann auf nachwachsende Rohstoffe optimiert werden.<\/p>\n\n\n\n Ein gro\u00dfes Potenzial besteht bei den Aktivatoren, die einen bedeutenden Anteil der Formulierung ausmachen, da neue, nachhaltige Rohstoffe auf den Markt dr\u00e4ngen. Wesentliche Prozessparameter wie Prozess- und Sp\u00fclzeit, Wasser- und Energieverbrauch, Verbrauch des intelligent fluid-Mediums sowie der Wartungsaufwand und Durchsatz werden ebenfalls ma\u00dfgeblich zur Berechnung der \u00d6kobilanz beitragen. Dadurch soll eine detaillierte Datenbasis geschaffen werden, um das CO2<\/sub>-Einsparpotenzial genau zu quantifizieren und die Umweltbelastung signifikant zu reduzieren.<\/p>\n\n\n\n Nach Abschluss des Projekts er\u00f6ffnen sich vielf\u00e4ltige Verwertungsm\u00f6glichkeiten der Ergebnisse sowie Chancen zur Weiterentwicklung. Die \u00d6kobilanz stellt f\u00fcr intelligent fluids GmbH ein Alleinstellungsmerkmal dar. Durch die gewonnenen Daten kann die Produktimplementierung bei Kunden fundierter unterst\u00fctzt werden. Zudem steigert sich durch die neuen Rezepturentwicklungen und Prozessoptimierungen die Qualit\u00e4t der Produkte deutlich.<\/p>\n\n\n\n Project Partners<\/strong>: Project period:<\/strong> Nachhaltige, wasserbasierte Reinigungsl\u00f6sungen f\u00fcr die Halbleiterindustrie Ein Projekt von intelligent fluids GmbH Das Ziel des Vorhabens besteht darin, eine umweltfreundliche, wasserbasierte Alternative zu den derzeit verwendeten erd\u00f6lbasierten umwelt- und gesundheitsgef\u00e4hrdenden L\u00f6sungsmittel-Prozessen in der Halbleiterindustrie zu evaluieren. Im Projekt sollen mehrere…<\/p>","protected":false},"author":2,"featured_media":0,"parent":0,"menu_order":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","template":"","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"class_list":["post-9511","page","type-page","status-publish","hentry"],"acf":[],"yoast_head":"\n![\"\"](\"https:\/\/greenict.de\/wp-content\/uploads\/2024\/09\/int-fluids-1024x472.jpg\")
<\/a>Evaluierung und Automatisierung nachhaltiger Reinigungsl\u00f6sungen im Reinraum<\/h3>\n\n\n\n
\u00d6kologische Einsparpotenziale durch wasserbasierte Reinigungsformulierungen<\/h3>\n\n\n\n
Nachhaltigkeit als neues Verkaufsargument und Wachstumstreiber<\/h3>\n\n\n\n
\n\n\n\n
Dr. Ronny Tepper und Dr. Salem Nasraoui, intelligent fluids GmbH<\/a>
Dr. Katharina Lilienthal, Matthias Rudolph, Fraunhofer-Institut f\u00fcr Photonische Mikrosysteme IPMS<\/a><\/p>\n\n\n\n
Start: 01.09.2024, Ende: 31.08.2025<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"